官方网站-首页【导语】11月2日凌晨,安世半导体中国公司一则公告引发科技圈震动——其荷兰母公司竟单方面停止向东莞封装测试厂供应“晶圆”,让这一半导体产业的核心环节瞬间成为焦点。从最普通的沙子到承载现代工业“粮食”的“黑土地”,晶圆如何蜕变为芯片的“画布”?又经历了怎样的复杂工艺,才最终孕育出集成电路的“微缩城市”?在这场全球半导体博弈中,中国晶圆代工产业正加速从“追赶”迈向“并跑”。

11月2日凌晨,一则来自安世半导体(Nexperia)中国公司的公告函在科技圈引发关注。公告直指其荷兰母公司单方面决定,停止向东莞的封装测试工厂供应“晶圆”。这一“左手断供右手”的奇特操作,瞬间将一个高度专业的名词——“晶圆”推到了聚光灯下。
在半导体这条产业中,“晶圆”究竟扮演着什么角色?它为何能成为整条产业链上的关键环节?我们日常所说的“芯片”和它又是什么关系?
从沙子到“画布”
如果说芯片是现代工业的“粮食”,那么晶圆就是培育粮食的“黑土地”。这片“黑土地”的“土壤”,其实来自于地球上最常见的物质之一——沙子(主要成分:二氧化硅)。
点“沙”成“硅”
沙子里有硅,但是纯度很低,而且是二氧化硅(SiO2)。我们不能随便抓一把沙子就拿来提炼硅。通常,会选用含硅量比较高的石英砂矿石。
第一步,脱氧、提纯。
将石英砂原料放入熔炉中,加热到1400℃以上的高温(硅的熔点为1410℃),与碳源发生化学反应,就可以生成高纯度(98%以上)的冶金级工业硅(MG-Si)。
随后,通过氯化反应和蒸馏工艺(yì),进(jìn)一(yī)步(bù)提(tí)纯(chún),得(de)到(dào)纯(chún)度(dù)更(gèng)高(gāo)的(de)硅(guī)。
硅(guī)这(zhè)个(gè)材(cái)料(liào),不(bù)仅(jǐn)可(kě)以(yǐ)用(yòng)于(yú)半(bàn)导(dǎo)体(tǐ)芯(xīn)片(piàn)制(zhì)造(zào),也(yě)可(kě)以(yǐ)用(yòng)于(yú)光(guāng)伏(fú)行(xíng)业(yè)(太(tài)阳(yáng)能(néng)发(fā)电(diàn))。
在(zài)半(bàn)导(dǎo)体(tǐ)芯(xīn)片(piàn)行业,对硅的纯度要求更加变态,是99.9999999%到99.999999999%,也就是9~11个9。这种用于半导体制造的硅,学名电子级硅(EG-Si),平均每一百万个硅原子中最多只允许有一个杂质原子。
种出“完美的圆柱”
这种经过提纯之后的硅,是多晶硅。接下来,还需要把它变成单晶硅。
简单来说,单晶硅具有完美的晶体结构,有非常好的性能。多晶硅,晶粒大、不规则、缺陷多,各种性能都相对差。所以,芯片这种高端货,基本都使用单晶硅。光伏那边,可以用多晶硅。
工人们将多晶硅在高温下熔化成液体,然后将一颗微小的“籽晶”浸入熔体中,并以极其缓慢的速度旋转、提拉。
随着籽晶的“生长”,硅原子会像搭积木一样,严格按照籽晶的晶体结构排列,最终形成一根巨大、光滑、完美的圆柱形“单晶硅锭”。这个过程必须在绝对真空和高温下进行,任何微小的震动或杂质都会导致前功尽弃。
从“圆柱”到“圆片”
晶圆为什么是圆的?答案就在这根圆柱形的硅锭上。接下来,这根硅锭会被精密切割机(类似精密的“面包切片机”)切割成一片片厚度不到1毫米的薄片。
目前主流的切片方式,是采用带有金刚线的多线切割机,也就是用线上固定有金刚石颗粒的钢丝线,对硅段进行多段切割。这种方法的效率高、损耗少。
切片有时候也会采用内圆锯。内圆锯则是内圆镀有金刚石的薄片,通过旋转内圆薄片切割晶锭。内圆锯的切割精度和速度相对较高,适用于高质量晶圆的切割。
但刚切下的薄片还很粗糙。它们必须经过研磨、化学腐蚀和“化学机械抛光”等多道工序。这个抛光过程堪称“吹毛求疵”,最终的晶圆表面必须光滑到“如镜面一般”。
至此,一块空白的“晶圆”——芯片的“画布”——才算正式诞生。它还不是芯片,但它已是承载一切运算奇迹的基石。
从“画布”到“城市”
如果说上一阶段我们得到的是一块块“画布”(空白晶圆),那么接下(xià)来(lái)的过程,就是在这些画(huà)布(bù)上(shàng)绘(huì)制(zhì)出(chū)人(rén)类(lèi)迄(qì)今为止最复杂的“画作(zuò)”——集成电路。
这个“绘制”工厂,就是我们常说的“晶圆厂”,比如台积电、中芯国际等。而它们使用的“画笔”,就是光刻机。
“画作”的设计与绘制
首先,芯片设计公司(如英特尔、AMD、英伟达)会设计出复杂的电路图(版图)。这张图纸被制作成“光掩模”,它就像是老式胶卷的底片。
涂胶、曝光、蚀刻的循环
空白晶圆被送入晶圆厂后,会经历一个极其繁复的“PVD、CVD、光刻、蚀刻、注入”循环,这个过程可能要重复上百次,耗时数月:
涂胶: 在晶圆表面均匀涂上一层对光敏感的“光刻胶”。
曝光: 光刻机(如ASML的EUV光刻机)发出的光束(如极紫外光)穿过“光掩模”,将电路图案“投影(yǐng)”到(dào)光(guāng)刻胶上。被照到的部分会发生化学变化。
显影: 洗去被曝光(或未被曝光)的光刻胶,电路图案就留在了晶圆表面。
蚀刻/ 沉积: 使用化学气体或等离子体,在没有光刻胶保护的区域进行“雕刻”(蚀刻掉多余的硅)或“沉积”(生长出新的材料层,如铜导线或绝缘体)。
离子注入: 在特定区域“掺杂”入其他元素,以改变其导电性能,从而制造出晶体管(开关)。
从晶圆到芯片的最后一步
这个循环往复,就像用3D打印技术一层一层地盖楼。几个月后,原本光滑的晶圆表面已经布满了数以百亿计的微型晶体管和连接线,形成了一座座密集的“微缩城市”。
此时,这片“晶圆”上已经布满了成百上千个完全相同的“芯片”。它已经不再是“空白画布(bù)”,而是“满载画作的成品”。
此次事件中的安世半导体东莞工厂的角色,正是“封装测试”。它们拿到的,就是这种“满载画作”的成品晶圆。它们的工作是:
测试: 用探针测试晶圆上每一个裸片,看是否合格。
切割: 将这块大圆片切割成一个个独立的小方块(芯片)。
封装: 将合格的芯片“装”进我们常见的黑色小方盒(芯片外壳)里,并焊上引脚,以便它(tā)能(néng)安(ān)装(zhuāng)在(zài)电(diàn)路板(bǎn)上(shàng)。
从(cóng)“追(zhuī)赶(gǎn)”到(dào)“并(bìng)跑(pǎo)”
从(cóng)全球(qiú)视(shì)角(jiǎo)看(kàn),中(zhōng)国(guó)大(dà)陆(lù)晶(jīng)圆(yuán)代(dài)工(gōng)产(chǎn)业(yè)正(zhèng)在(zài)经(jīng)历(lì)从(cóng)“追(zhuī)赶(gǎn)”到(dào)“并(bìng)跑(pǎo)”的(de)关键转(zhuǎn)型(xíng)期(qī)。虽(suī)然(rán)在(zài)最(zuì)先(xiān)进(jìn)的(de)2纳(nà)米(mǐ)、3纳(nà)米(mǐ)制(zhì)程(chéng)上(shàng)仍(réng)有(yǒu)差(chà)距(jù),但(dàn)在(zài)成(chéng)熟(shú)制(zhì)程(chéng)、特色工艺、化合物半导体等领域,中国企业正在缩小差距甚至实现局部领先。
《2025全球及中国半导体制造市场预测和产业分析》报告显示,未来三年,随着71座300mm晶圆厂的陆续投产,中国大陆将占据全球近三成的产能份额。
如今,中国晶圆代工产业需要在技术攻关、人才培养、产业链协同等方面持续发力。未来将在成熟制程、特色工艺领域巩固优势,逐步夯实供应链安全,这样不仅将大幅提升中国半导体产业的自给率,也将深刻改变全球半导体产业的竞争格局。
参考资料:
1.上海证券报丨安世中国凌晨声明:恶意抹黑,倒欠10亿!
2.“中科院物理所”公众号丨晶圆是如何制造出来的?
3.“中国科学院半导体研究所”公众号丨芯片制造工艺流程.图文详解.一文通
撰文:记者 段大卫
编辑:段大卫
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